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            产品展示| PRODUCT
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            光刻机专用UV-LED光源

            ① 曝光面积: 4'', 6'', 8''
            ② 波段: 365nm, 385nm, 395nm, 405nm
            单波段和双波段耦合
            ③  有效工作面积:
            4'': 110*110mm
            6'': 160*160mm
            8'': 200*200mm
            ④  不均匀性: ≤4%  (max-min)/ (max+min) *100%
            ⑤ 光强/能量值:
            4'': >100mw@365nm  25A
            6'': > 50mw@365nm   25A

            8'': 25-50mw@365nm 25A

            ⑥ 平行半角:

            4'': ≤1.8°

            6'': ≤1.3°

            8'': ≤1.2°-2°

            ⑦ 工作距离: 100-350nm

            ⑧ 水冷方式
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